純水/超純水/污染物質(zhì)的劃分
純水
1. 不論以任何純化方法來去除污染物質(zhì)，若無法達到比阻抗值18.2MΩ．cm的水，都稱為「純水」
2. 「離子交換樹脂水」、「蒸餾水」、「逆滲透水」等，都屬于純水
超純水
1. 導(dǎo)電率不會低于 0.055μS/cm（25℃）
2. 比阻抗值不會大于 18.248 MΩ．cm（25℃）
3. 將水中的導(dǎo)電污染物質(zhì)去除到比阻抗值達18.2 MΩ．cm（25℃）時，就稱為「超純水」
4. 超純水對周遭環(huán)境物質(zhì)有很高的溶解能力，因而被稱為 “hungry water”
5. 超純水可用于精密的清潔工作，即使不使用界面活性劑，亦有相當好的洗凈能力
6. 超純水不能飲用，會損害身體組織
7. 超純水在管路運送中，因流動摩擦容易產(chǎn)生靜電( s t a t i c e l e c t r i c i t y)，隨著水的純化，其所產(chǎn)生的電位(electrical potential) 升高
8. 超純水靜電的產(chǎn)生與系統(tǒng)的管路材質(zhì)(pipe materials) 和水的流量(flow rate of water)等有關(guān)
污染物質(zhì)
1. 稱為「超純水」的水，還是可能含有不確定量的有機物、微粒子、微生物等污染物質(zhì)
2. 必須同時使用「比阻抗值」與「TOC值」來評估水質(zhì)

純水理論值

溫度	ιH	ιOH	－logKω	ρ	R比阻抗
℃	Scm2/mol	Scm2/mol	─	g/cm3	MΩ．cm
0	224.2	127.8	14.944	0.99987	84.2
10	275.5	156.2	14.535	0.99973	42.9
18	315.6	178.8	14.236	0.99859	26.6
20	325.5	184.4	14.167	0.99823	23.8
25	349.8	197.8	13.997	0.99707	18.25
30	373.7	211.6	13.833	0.99567	14.1
40	419.5	237.2	13.535	0.99224	8.98

精密工業(yè)與超純水
1. 當水與空氣接觸，不同氣體會溶入超純水中
2. 超純水必須隔絕氧氣
1. 其中溶氧嚴重加速腐蝕速率(corrosion rate)，約為二氧化碳的五*十倍
2. 超純水系統(tǒng)中的離子交換樹脂也會被溶氧所氧化，降低其質(zhì)量與使用期限
3. 超純水系統(tǒng)中的溶氧會加速管路和設(shè)備中**的生長
4. 可用真空除氣機( v a c u u m deaerator) 或觸媒樹脂(catalyst resin)隔絕氧氣
3. 降低于TOC值
可以紫外線與臭氧處理**，降低于總有機碳(total organic carbon,TOC )值