靶材自動(dòng)探傷,超聲C掃描檢測(cè)

靶材由濺射材料和靶托通過(guò)釬焊層連接。釬焊質(zhì)量影響靶材界面層導(dǎo)熱性能, 甚*導(dǎo)致脫焊或融化。靶材的突然脫落會(huì)造成設(shè)備的嚴(yán)重?fù)p壞, 導(dǎo)致重大經(jīng)濟(jì)損失。因此, 靶材釬焊層必須具備良好的導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性, 同時(shí)還必須具備足夠的強(qiáng)度。
碩德檢測(cè)提供的靶材**檢測(cè)設(shè)備，適用于靶材粘接檢測(cè)和內(nèi)部缺陷檢測(cè)，可用于金屬靶和陶瓷靶、平靶和管狀靶。超聲探傷原理是利用超聲波經(jīng)水耦合進(jìn)入靶材板后，入射傳播，當(dāng)板中有缺陷會(huì)引起超聲反射，若無(wú)缺陷，超聲波到達(dá)靶材下表面后由于與粘接材料（或空氣夾層）的聲阻抗不匹配而導(dǎo)致回波幅度不同，超聲儀器將超聲反射信號(hào)經(jīng)放大信號(hào)處理后實(shí)時(shí)報(bào)警，實(shí)現(xiàn)粘接和缺陷的自動(dòng)檢測(cè)。
考慮到靶材粘接檢測(cè)的*性以及靶材材料本身的聲特性，系統(tǒng)采用聚焦超聲縱波脈沖反射液浸法C掃描技術(shù)進(jìn)行檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)對(duì)粘接率的計(jì)算和內(nèi)部缺陷的探傷。對(duì)于用中間層材料結(jié)合方式（如軟釬焊、硬釬焊和環(huán)氧樹(shù)脂粘接等）的濺射靶材-背板結(jié)合面的孔洞、未結(jié)合、氧化物夾雜等缺陷可進(jìn)行有效的檢驗(yàn)。其他用途的材料結(jié)合質(zhì)量無(wú)損檢測(cè)也可參照使用。
適用靶材的種類(lèi)
    1. 金屬靶材 　　鎳靶、Ni、鈦靶、Ti、鋅靶、Zn、鉻靶、Cr、鎂靶、Mg、鈮靶、Nb、錫靶、Sn、鋁靶、Al、銦靶、In、鐵靶、Fe、鋯鋁靶、ZrAl、鈦鋁靶、TiAl、鋯靶、Zr、鋁硅靶、AlSi、硅靶、Si、銅靶Cu、鉭靶T、a、鍺靶、Ge、銀靶、Ag、鈷靶、Co、金靶、Au、釓靶、Gd、鑭靶、La、釔靶、Y、鈰靶、Ce、鎢靶、w、不銹鋼靶、鎳鉻靶、NiCr、鉿靶、Hf、鉬靶、Mo、鐵鎳靶、FeNi、鎢靶等。 　　
   2. 陶瓷靶材 　　ITO靶、氧化鎂靶、氧化鐵靶、氮化硅靶、碳化硅靶、氮化鈦靶、氧化鉻靶、氧化鋅靶、硫化鋅靶、二氧化硅靶、一氧化硅靶、氧化鈰靶、二氧化鋯靶、五氧化二鈮靶、二氧化鈦靶、二氧化鋯靶，、二氧化鉿靶，二硼化鈦靶，二硼化鋯靶，三氧化鎢靶，三氧化二鋁靶五氧化二鉭，五氧化二鈮靶、氟化鎂靶、氟化釔靶、硒化鋅靶、氮化鋁靶，氮化硅靶，氮化硼靶，氮化鈦靶，碳化硅靶，鈮酸鋰靶、鈦酸鐠靶、鈦酸鋇靶、鈦酸鑭靶、氧化鎳靶、濺射靶材等。 　　
   3.合金靶材 　　鐵鈷靶FeCo、鋁硅靶AlSi、鈦硅靶TiSi、鉻硅靶CrSi、鋅鋁靶ZnAl、鈦鋅靶材TiZn、鈦鋁靶TiAl、鈦鋯靶TiZr、鈦硅靶TiSi、 鈦鎳靶TiNi、鎳鉻靶NiCr、鎳鋁靶NiAl、鎳釩靶NiV、鎳鐵靶NiFe等